光電廠潔凈室檢驗參考報告
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檢測區(qū)域 |
檢測指標 |
計量單位 |
設(shè)計級別 |
技術(shù)要求 |
檢測結(jié)果 |
結(jié)論 |
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邊反車間 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
24000 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
2750 |
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風速 |
m/s |
10000級 |
≥20 |
22 |
合格 |
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印刷區(qū)域
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懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
16600 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
1045 |
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|
風速 |
次/小時 |
10000級 |
≥20 |
40 |
合格 |
||||
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檢驗區(qū)域 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
50000 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
883 |
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風速 |
次/小時 |
10000級 |
≥20 |
40 |
合格 |
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包裝區(qū)域 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
10000級 |
0.5um≤352000 |
25088 |
合格 |
|||
|
5um≤2930 |
706 |
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|
風速 |
次/小時 |
10000級 |
≥20 |
40 |
合格 |
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檢測結(jié)論：符合規(guī)范要求。
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檢測人 |
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檢測日期 |
2015年5月2日 |
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檢測區(qū)域 |
檢測指標 |
計量單位 |
設(shè)計級別 |
技術(shù)要求 |
檢測結(jié)果 |
結(jié)論 |
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|
更衣緩沖 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
100000級 |
0.5um≤3520000 |
369964 |
合格 |
|||
|
5um≤29300 |
11542 |
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|
風速 |
m/s |
100000級 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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|
油墨室
|
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
100000級 |
0.5um≤3520000 |
1839458 |
合格 |
|||
|
5um≤29300 |
5948 |
||||||||
|
風速 |
次/小時 |
100000級 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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光檢測區(qū)域 |
懸浮粒子平均濃度 |
粒/m3 |
100000級 |
0.5um≤3520000 |
1839458 |
合格 |
|||
|
5um≤29300 |
5948 |
||||||||
|
風速 |
次/小時 |
100000級 |
≥15 |
18 |
合格 |
||||
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檢測結(jié)論：符合規(guī)范要求。 |
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檢測人 |
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檢測日期 |
2015年5月2日 |
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